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ID-106工業(ye)顯微鏡(jing)廣泛(fan)應用于(yu)半導體、電(dian)子工業(ye)等行業(ye),進行晶體、集(ji)成電(dian)路(lu)的檢驗(yan)和(he)科(ke)學研究。配備(bei)有反射照明(ming),偏(pian)光(guang)裝置,可連接照相。
技術參數:
1.無(wu)限(xian)遠(yuan)光學系統,管(guan)鏡(jing)焦距200mm
2.鉸(jiao)鏈式(shi)三目鏡筒,30°傾斜(xie),瞳距55-75mm
3.高眼點、大(da)視(shi)場目鏡WF10×/22
4.五孔物(wu)鏡(jing)轉(zhuan)換(huan)器
5.長工(gong)作距離平場復消色差物鏡
Plan Apo 2×/0.055 W.D. 34.6mm 分辨率(lv) 5μm,
Plan Apo 5×/0.14 W.D. 45mm 分辨(bian)率 2μm,
Plan Apo 10×/0.28 W.D. 34mm 分辨率 1μm,
Plan Apo 20×/0.29 W.D. 30.8mm 分辨率 1μm
Plan Apo 50×/0.42 W.D. 20.5mm 分辨率 0.7μm
6.150mm×150mm(6"×6")雙層(ceng)活動平(ping)(ping)臺和圓平(ping)(ping)臺,主(zhu)要(yao)的特點是用了尼康(kang)三角鋼絲和圓柱滾珠,從而在設計(ji)和材料(liao)上保證其平(ping)(ping)穩和精度(du)要(yao)求。
7.同軸粗微(wei)調焦(jiao)機構,微(wei)動格值0.002mm
8.冷(leng)光(guang)源光(guang)纖(xian)反射(she)照明器:12V 150W,特別明亮(liang)清晰,對(dui)黑(hei)色、深色表面不(bu)反光(guang)工件(jian)塑料、橡(xiang)膠、碳化物金屬等(deng),亦可清晰。
載物臺附件: